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张洁
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晶圆制造系统由晶圆加工系统以及晶圆物料运输系统组成,其中晶圆加工系统包括炉管区、光刻区、刻蚀区以及金属化区等,每个加工区由若干台相同加工功能的设备组成;晶圆物料运输系统由若干个加工站内物料运输系统和一个加工站间物料运输系统构成。因此,晶圆制造系统中存在着大量的并行运行设备。本书在系统全面介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上,分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法以及原型系统开发和应用。
(1)
智能制造系统
(1)
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著者
张洁
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周敏,张洁编著
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张洁编著
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1.
世界牛肉指南
已借3次.
订购中
著者:
张洁
出版社:
中国轻工业出版社
出版日期: 2022
文献类型:
图书 , 索书号:
TS972.125.1-62/1
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2.
土建施工技术
订购中
著者:
张洁
出版社:
煤炭工业出版社
出版日期: 2018
文献类型:
图书 , 索书号:
TU74/24
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3.
咖啡技艺
已借4次.
订购中
著者:
张洁
出版社:
北京交通大学出版社
出版日期: 2015
文献类型:
图书 , 索书号:
TS273/20
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4.
手酿,时间
已借2次.
订购中
著者:
张洁
双福
出版社:
江苏凤凰科学技术出版社
出版日期: 2019
文献类型:
图书 , 索书号:
TS972.182/316
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5.
制造系统智能调度方法与云服务
订购中
著者:
张洁
秦威
出版社:
华中科技大学出版社
出版日期: 2018
文献类型:
图书 , 索书号:
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6.
日本最新夏装精选
订购中
著者:
黎黎
张洁
出版社:
中国经济出版社
出版日期: 1991
文献类型:
图书 , 索书号:
TS941.7/7
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7.
Linux就是这个范儿
已借13次.
订购中
著者:
赵鑫磊
张洁
出版社:
人民邮电出版社
出版日期: 2014
文献类型:
图书 , 索书号:
TP316.85/32
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8.
Final Cut Pro X从新手到高手
订购中
著者:
张洁编著
出版社:
清华大学出版社
出版日期: 2020.09
文献类型:
图书 , 索书号:
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著者简介
9.
晶圆制造中的并行机调度
订购中
著者:
张洁,张朋著
出版社:
清华大学出版社
出版日期: 2019.12
文献类型:
图书 , 索书号:
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10.
海洋食品加工应用技术
订购中
著者:
张大为
张洁
出版社:
中国海洋大学出版社
出版日期: 2018
文献类型:
图书 , 索书号:
TS254.4/8
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